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精密加工为何依赖碳化硅微粉？解析超精密研磨核心材料
碳化硅微粉的晶体结构特性
在超精密研磨领域，立方晶系β-sic微粉因其各向同性磨削特性成为高端加工首选材料。通过化学气相沉积法制备的微粉粒径可控制在0.5-15μm范围，其莫氏硬度9.5级的物性指标远超传统氧化铝磨料。在晶圆减薄工艺中，磨粒自锐效应能持续保持切削刃锐利度，配合三乙醇胺缓蚀剂可达成ra≤0.02μm的表面粗糙度。精密研磨的流体动力学模型
基于纳维-斯托克斯方程建立的研磨液流场模型【精密研磨】
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- 2025 年 5 月 (107)